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UVLED平行光源

關(guān)鍵詞：

UVLED平行光源

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應(yīng)用于：

半導(dǎo)體晶元光刻和高精度PCB板曝光等。以LED單波段或混合波段作為光源，采用了陣列光學(xué)鏡片整形后，輸出均勻的平行光組成面光源（矩形或者特定形狀光斑），實現(xiàn)波長365nm的紫外光（313nm或者405nm、435nm混合光），光束垂直照射于半導(dǎo)體光刻機(jī)掩膜板進(jìn)行芯片光曝光，光能利用率高，光強(qiáng)分布均勻。

規(guī)格及參數(shù)：

序號	項目	性能要求
1	型號	UVLED-365-6-400-WC/AC
2	光源	LED
3	工作波長	主波長365nm（可定制405nm、435nm或混合波段）
4	照明尺寸	>160x160mm（可定制4寸--12寸曝光面積）
5	照明不均勻性	<2%
6	照明強(qiáng)度	>30mw/cm2 @365nm（風(fēng)冷）/>100mw/cm2 @365nm（水冷）
7	準(zhǔn)直角	<2°（可定制）
8	傾斜角	<0.3°
9	工作距	200-400mm（可根據(jù)客戶需求進(jìn)行定制）
10	外形尺寸	長寬高≤550350600mm
11	能量調(diào)節(jié)	調(diào)節(jié)控制LED功率（本地或遠(yuǎn)程）
12	能量檢測	光路能量實時監(jiān)測